リサイクル型で経済的、 環境に優しい剥離剤です。
従来のフォトレジスト剥離剤との比較
従来のアミン系剥離剤と比較して、安全性に優れ、環境負荷も低減されています。ＰＵＲＭＳに溶解したレジストはオゾン再生でレジストのみを分解しますので、装置内でのリサイクルが可能です。他の剥離剤との比較
| 有機溶剤 | Monoeth- anolamine (MEA) | Dimethyl sulfoxide (DMSO) | N-Methylp- yrrolidone (NMP) | PURMS (新開発剥離剤) |
|---|---|---|---|---|
| 沸点(℃) | 171 | 189 | 202 | 220 |
| 融点(℃) | 10.5 | 18.5 | -24 | 19 |
| 比重 | 1.11(20℃) | 1.09(25℃) | 1.03(25℃) | 1.21(40℃) |
| 表面張力 (dvn/cm) | 45.6(50℃) | 42.8(25℃) | 41.0(25℃) | 49(23℃) |
| 粘性率(cp) | 2.3(90℃) | 2.0(25℃) | 1.65(25℃) | 2.36(25℃) |
| 蒸気圧 (mmHg) | 6.7(65℃) | 5.1(56℃) | 4.0(60℃) | 0.15(20℃) |
| 臭(室温) | アミン臭 | 無臭 | 弱いアミン臭 | 無臭 |
| 引火点(℃) | 93 | 95 | 95 | 136以上 |
| 消防法 | 第4類第3 石油類 | 第4類第3 石油類 | 第4類第3 石油類 | 指定可燃物 可燃性液体 |
| 毒性 ラットLD50 (経口) | 21g/kg | 18g/kg | 7g/kg | 8g/kg |
| オゾンとの 反応 | 反応する | 反応する | 反応する | 殆んど 反応しない |
| その他 | 吸湿性強い | 吸湿性強い | 吸湿性強い | 吸湿性弱い |
PURMSのメリット
金属膜に対するダメージが殆どありません。
オゾン再生により剥離装置内リサイクルが可能なため、有機廃棄物の削減に貢献します。
| 金属膜 | Al | Cu | W |
|---|---|---|---|
| ダメージ | ＜0.3A | ＜0.11A | ＜0.35A |
※120℃PURMSに10分間浸漬
応用分野・可能性
- リフトオフ装置用
- 金属膜に対するダメージが殆どありません。オゾン再生により剥離装置内リサイクルが可能有機廃棄物の削減に貢献します。
- コーターカップ洗浄用溶剤
- コーターカップのレジスト汚れを簡単に落とします。オゾン再生装置でレジストのみを分解、溶剤のライフをのばします。
- フィルムレジスト除去装置
- 従来の洗浄液に変わる安全でリサイクル可能な剥離剤としてご利用いただけます。
- 液晶製造用レジスト剥離装置
- 従来のアミン系剥離剤と比較して金属にダメージを与えない剥離剤です。剥離装置内でリサイクルが可能なためランニングコスト低減に貢献します！