光触媒除菌脱臭事業、ヘルスケア事業、半導体・液晶事業

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半導体・液晶事業

フォトレジスト用剥離剤

フォトレジスト用剥離剤IMAGE

リサイクル型で経済的、
環境に優しい剥離剤です。

従来のフォトレジスト剥離剤との比較

従来のアミン系剥離剤と比較して、安全性に優れ、環境負荷も低減されています。PURMSに溶解したレジストはオゾン再生でレジストのみを分解しますので、装置内でのリサイクルが可能です。

他の剥離剤との比較

有機溶剤 Monoeth-
anolamine
(MEA)
Dimethyl
sulfoxide
(DMSO)
N-Methylp-
yrrolidone
(NMP)
PURMS
(新開発剥離剤)
沸点(℃) 171 189 202 220
融点(℃) 10.5 18.5 -24 19
比重 1.11(20℃) 1.09(25℃) 1.03(25℃) 1.21(40℃)
表面張力
(dvn/cm)
45.6(50℃) 42.8(25℃) 41.0(25℃) 4.9(23℃)
粘性率(cp) 2.3(90℃) 2.0(25℃) 1.65(25℃) 2.36(25℃)
蒸気圧
(mmHg)
6.7(65℃) 5.1(56℃) 4.0(60℃) 0.15(20℃)
臭(室温) アミン臭 無臭 弱いアミン臭 無臭
引火点(℃) 93 95 95 136以上
消防法 第4類第3
石油類
第4類第3
石油類
第4類第3
石油類
指定可燃物
可燃性液体
毒性
ラットLD50
(経口)
21g/kg 18g/kg 7g/kg 8g/kg
オゾンとの
反応
反応する 反応する 反応する 殆んど
反応しない
その他 吸湿性強い 吸湿性強い 吸湿性強い 吸湿性弱い

PURMSのメリット

金属膜に対するダメージが殆どありません。
オゾン再生により剥離装置内リサイクルが可能なため、有機廃棄物の削減に貢献します。

金属膜 Al Cu W
ダメージ <0.3A <0.11A <0.35A

※120℃PURMSに10分間浸漬

応用分野・可能性

リフトオフ装置用
金属膜に対するダメージが殆どありません。オゾン再生により剥離装置内リサイクルが可能有機廃棄物の削減に貢献します。
コーターカップ洗浄用溶剤
コーターカップのレジスト汚れを簡単に落とします。オゾン再生装置でレジストのみを分解、溶剤のライフをのばします。
フィルムレジスト除去装置
従来の洗浄液に変わる安全でリサイクル可能な剥離剤としてご利用いただけます。
液晶製造用レジスト剥離装置
従来のアミン系剥離剤と比較して金属にダメージを与えない剥離剤です。剥離装置内でリサイクルが可能なためランニングコスト低減に貢献します!

液晶ガラス基板用帯電防止剤

液晶ガラス基板用帯電防止剤IMAGE

低温ポリシリコン液晶製造工程の必需品。
効率化と環境低負担を実現。

帯電防止剤レナテックAC-1シリーズは、液晶製造工程で起こる帯電による不良を改善するため、弊社と(株)東芝が共同開発致しました。特にTFT製造工程では抜群の歩留まりをあげており、その他の電子工業でも幅広く使用することが可能です。テストサンプルをご用意してお待ちしておりますので是非お問い合せ下さい。

AC-1

超高純度品です。半導体レベルの清浄度を要求される場所でご使用下さい。

包装単位 5Lポリ容器
濃度 5%溶液
実用濃度 0.5%~0.2%
純水希釈にて使用のこと
単価 12,000円/kg
定価 60,000円/1容器

仕切価格ご相談下さい

サンプル

濃度/0.5%溶液、1L
価格/1,000円(サンプル価格には運送費と梱包費が含まれます)

FDP製造工程での帯電防止効果

基盤表面電位の変化

基盤表面電位の変化

その他用途

半導体、液晶、その他の電子工業でも幅広くご使用いただけます。
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